功能豐富
提供最佳測量精度
獨特的頻率測量系統(tǒng)，提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測量，賦予監(jiān)控過程卓越的可重復性。通過沉積控制器，可利用 QCM 傳感器對沉積過程實現(xiàn)速率控制。匯成真空可按您的要求為您提供具有從最基本到最齊全功能的任何沉積控制器。
即使在速率極低的情況下也可確保獲得最高、最穩(wěn)定的速率和厚度測量分辨率，通過自動測定沉積材料的比值，可提高厚度測量的精度，支持多個來源同時共沉積，USB 數(shù)據(jù)存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數(shù)據(jù)記錄。
通過光學膜厚監(jiān)控儀，您可以極其準確地控制沉積速度和厚度，能夠達到幾乎任何層數(shù)，安裝輕松且可靠性極高，從而確保生產效率。匯成真空提供了一種擁有成本極低的儀表，為您帶來前所未有的價值。無論您的控制需要屬于生產還是研發(fā)領域，都能從光學膜厚監(jiān)控儀中找到完美的解決方案。
自動測定沉積材料，提高厚度測量的精度
彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
易于操作和維護
高性能、高通用性
USB 數(shù)據(jù)存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數(shù)據(jù)記錄
提供以太網(wǎng)連接
| 型號 | IC6 |
| 測量性能 | |
| 頻率分辨率 | ±0.0035 Hz @ 6 MHz |
| 厚度和速率分辨率/測量 (1) | ±0.00433 ? |
| 測量頻率范圍 | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) |
| 厚度精度 (2) | 0.50% |
| 測量周期 | 0.10 s |
| 多個測量值平均 | 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed |
| 設計功能 | |
| Auto Z | yes |
| 自動色調 | yes |
| 共沉積 | yes (up to 6 sources) |
| 過程配方和數(shù)據(jù)管理 | |
| 材料計劃 | 32 |
| 過程層（每個過程） | 200 |
| 過程 | 50 (processes can be linked together) |
| USB 存儲器 | yes |
| 數(shù)據(jù)記錄 | yes |
| 硬件功能 | |
| 傳感器 (3) | |
| 單 | 8 |
| 雙 / CrystalTwo® | 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch) |
| CrystalSix® | 8 |
| Crystal 12® | 8 |
| 通用 | 8 |
| 來源控制 | |
| 來源數(shù)量 (4) | up to 6 |
| 來源控制電壓 | 0 to +/-10 V, adjustable |
| 輸出分辨率 | 15 bits over full range (0 to 10V) |
| 坩堝位置 | 64 |
| 輸入 / 輸出 | |
| 輸入 | 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground |
| 輸出 | 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs |
| 記錄器輸出 (4) | 0 to +10 V, adjustable |
| 邏輯語句 | 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement |
| 通信 | |
| 標準 | RS232 |
| 可選 | Ethernet |
| 操作 | |
| 電源要求 |
100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz |
| 工作溫度 | 0 to 50°C (32 to 122°F) |
| 尺寸 | 133mm x 483mm x 330 mm |
| 重量 | 23 lbs (10.5 kg) |
|
(1) 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6 兆赫茲 (2) 隨過程變化；數(shù)值表示典型的精度 (3) 每種類型的最大配置 (4) IC6 有 6 個 DAC 輸出標準，還可再選擇再添加 6 個。 可將 12 個中的任何一個配置為來源控制電壓或記錄器輸出，但可同時控制的來源數(shù)量為 6 |
|
| 型號 | XTC/3 |
| 頻率分辨率 | ±0.028 Hz @ 6 MHz |
| 測量頻率范圍 | 6.0 to 5.0 MHz (fixed) |
| 測量周期 | 0.25 seconds |
| 厚度和速率分辨率/測量 (1) | ±0.034 ? |
| 測量技術 | ModeLock |
| 過程數(shù)量 | 1 |
| 層數(shù) | 1 |
| 材料計劃（或薄膜）數(shù)量 | 9 |
| 傳感器輸入數(shù)量 | 2 |
| CrystalSix / Crystal 12 傳感器支持 | Yes |
| 支持 XTAL 2 開關 | Yes |
| 來源輸出數(shù)量 | 2 |
| 計算機通信 | RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional |
| 最大 RS232 波特率 | 115.2 KBaud |
| 自動晶體轉換 | Yes |
| 繼電器數(shù)量 | 12, Not Event Assignable |
| 可編程繼電器功能數(shù)量 | 1 |
| 每個繼電器的功能 | 1 |
| 繼電器額定電壓 | 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps |
| 輸入數(shù)量 | 8 TTL, 24VDC Max |
| 可編程輸入功能數(shù)量 | 1, Not Event Assignable |
| 記錄器輸出數(shù)量 | 1 |
| 手動電源 / 手持控制器 | Yes |
| 排氣管風扇 | No Exhaust Fan |
| 測試模式 | Yes |
| 閘門延遲 | Yes |
| 二次成型模具 | Yes |
| 外殼尺寸 | half rack, 2U high |
| 速率和厚度顯示分辨率 | 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A |
| 通過輸入選擇膜 | Yes |
| 用戶指南語言 | English, Chinese |
| 控制環(huán)路 | PID |
| 用于從 PC 操作的軟件 | Yes |
| 數(shù)據(jù)記錄 | Yes |
| 質量和穩(wěn)定性功能 | Yes |
| 采樣保持 (RateWatcher?) | Yes |
| 坩堝選擇 | Yes |
| 坩堝反饋輸入 | Yes |
| 選擇控制電壓極性 | Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution |
| 程序鎖定碼 | Yes |
| 帶圖形的顯示器 | Yes |
| 用戶標記過程（手機式字母數(shù)字輸入） | No |
| 用戶標記膜（手機式字母數(shù)字輸入） | No |
| 傳輸傳感器控制 | Yes |
| XTC/2 RS232 通信兼容性 | Yes (limited) |
| (1) 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6 兆赫茲 | |
| 型號 | SQC-310 |
| 測量 | |
| QCM 輸入 | 2 (4 optional) |
| 測量頻率范圍 |
Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum |
| 頻率分辨率 (1) | ± 0.012 Hz |
| 厚度和速率分辨率/測量 (2) | ±0.015 ? |
| 頻率穩(wěn)定性 | ± 2 ppm total, 0 to 50C |
| 測量周期 | 0.10 to 1.0 s (adjustable) |
| 速率顯示 | 0.01 ?/sec |
| 控制 | |
| 存儲 | 100 processes, 1000 layers, 50 films |
| 控制輸出 | 2 (4 optional) |
| 輸出信號 | ± 0 to 10 VDC, 15 bits |
| 數(shù)字輸入/繼電器 | 8/8 (16/16 optional) |
| 數(shù)字輸入 | 5 VDC non-isolated |
| 繼電器 | SPST Form 1A, 30V, 2A max |
| 接口 | Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) |
| 遠程電源控制 | Optional (IPN 782-900-017) |
| 顯示器 | |
| 類型 | 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD |
| 圖表 | Rate, deviation, power or full screen numeric |
| 一般 | |
| 功率 | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W |
| 合規(guī)性 | CE, RoHS |
| Windows® 軟件 | Included |
| 殼體/安裝 | 5 1/4” half-rack |
|
(1) 0.25 秒測量間隔的分辨率 (2) 工具/密度 = 100/1，基礎頻率 = 6 赫茲，0.25 秒測量間隔 |
|
HCVAC-PVD
