超厚多元合金涂層和超厚氮化物涂層，連續沉積多元合金涂層厚度可達120um以上，實現單靶三維旋轉≥6.5um/h，連續沉積氮化物涂層25um以上，實現單靶三維旋轉≥3um/h，提高了工件表面的硬度，為航空發動機葉片修復、汽輪機葉片邊緣的沖蝕問題提供了新的解決方案。
功能涂層設備應用
超厚多元合金涂層和超厚氮化物涂層，連續沉積多元合金涂層厚度可達120um以上，實現單靶三維旋轉≥6.5um/h，連續沉積氮化物涂層25um以上，實現單靶三維旋轉≥3um/h，提高了工件表面的硬度，為航空發動機葉片修復、汽輪機葉片邊緣的沖蝕問題提供了新的解決方案。
HCVAC-PVD
