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行業(yè)應(yīng)用

Industry Application
MEMS、SAW濾波器
MEMS可以檢測環(huán)境的變化并通過微型電路產(chǎn)生相關(guān)反應(yīng)。
MEMS的主要部分包括sensor(微傳感器)或actuator(微執(zhí)行器)和transducer(轉(zhuǎn)換裝置)。
其中sensor可以檢測某種物理,化學(xué)或生物的存在或強(qiáng)度。
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